一种液态锡加热连续硫化硒化法制备CZTSSe薄膜的方法及其CZTSSe薄膜和应用
2015103285924
本发明公开了一种液态锡加热连续硫化硒化法制备CZTSSe薄膜的方法及其CZTSSe薄膜和应用。先利用溅射法在镀钼玻璃上制备CuZnSnS合金薄膜或者CuS/ZnS/Sn多层交叠膜作为前驱体，在此薄膜上蒸镀一层Se膜，再利用不同温度的液态锡作为加热源，在含有硫元素的氮气气氛下，对前驱体薄膜进行硫化硒化，最后制备完成CZTSSe太阳能电池吸收层薄膜。本发明不仅可保证高均匀度的快速升温，还能抑制样品中的锡流失，保证了样品的组分可控，提高了样品的质量从而提高电池的效率，是一种能耗低、均匀度高、升温速度快的制备太阳能电池吸收层CZTSSe薄膜的方法，在材料与能源利用率和工业化生产方面具有明显的优势。
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